Crystallographic Silicon-Etching for Ultra-High Aspect-Ratio FinFET

机译：用于超高纵横比FinFET的晶体硅蚀刻

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
V. Jovanovića; T. Suligoja; L. K. Nanverb;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2015
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Ultra-high aspect-ratio FinFET technology [J] . Vladimir Jovanovic, rnTomislav Suligoj, rnMirko Poljak, Solid-State Electronics . 2010,第9期

机译：超高纵横比FinFET技术
2. Microfluidic active mixers employing ultra-high aspect-ratio rare-earth magnetic nano-composite polymer artificial cilia [J] . Mona Rahbar, Lesley Shannon, Bonnie L. Gray Journal of Micromechanics and Microengineering . 2014,第2期

机译：采用超高长宽比稀土磁性纳米复合聚合物人工纤毛的微流体主动混合器
3. Ultra-high aspect ratio poly-Si FinFET using an improved spacer formation technique [J] . Libin Liu, Renrong Liang, Jing Wang, Superlattices and microstructures . 2017,第APRa期

机译：采用改进的间隔物形成技术的超高纵横比多晶硅FinFET
4. Crystallographic Silicon-Etching for Ultra-High Aspect-Ratio FinFET [C] . V. Jovanovic, T. Suligoj, L. K. Nanver Electrochemical Society(ECS) Meeting;International Symposium on Advanced Gate Stack, Source/Drain and Channel Engineering for Si-Based CMOS: New Materials, Processes, and Equipment; 20080518-22;20080518-22; Phoenix,AZ(US);Phoenix,AZ(US) . 2008

机译：用于超高长宽比FinFET的晶体硅蚀刻
5. Two-phase Flow in High Aspect-ratio Microchannels [D] . Lewis, James M. 2018

机译：高纵横比微通道中的两相流
6. Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate [O] . Weijia Xu, Huaxiang Yin, Xiaolong Ma, 2015

机译：体硅衬底上的新型14nm扇贝形FinFET（S-FinFET）
7. Crystallographic Silicon-Etching for Ultra-High Aspect-Ratio FinFET [O] . Jovanovic, V. (author), Suligoj, T. (author), Nanver, L.K. (author) 2008

机译：用于超高长宽比FinFET的晶体硅蚀刻
8. Ultra-High Speed Analog-to-Digital Converters in 14nm FinFET Process and Usage in Digital and Hybrid Phased Array Systems. [R] . Hornbuckle, C. A. 2017

机译：采用14nm FinFET工艺制造的超高速模数转换器，用于数字和混合相控阵系统。

Crystallographic Silicon-Etching for Ultra-High Aspect-Ratio FinFET

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅